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直线电机也叫线性电机,线性马达,直线马达,推杆马达。最常用的直线电机类型是平板式和U 型槽式,和管式。直线电机主要部件是动子和定子的组合连接。平板直线电机稳定性在高精密的半导体设备中要求比较高。
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